Microscópio atômico da indústria de bolachas de 12 pol. AFM 12

Introdução ao microscópio atômico da indústria de bolachas

Mesa de varredura de mudança de nível de tensão de circuito fechado independente de três eixos para obter varredura de alta precisão em larga escala;

Varredura independente de três eixos, XYZ não afeta um ao outro, muito adequado para detecção de material tridimensional e topografia;

Controle motorizado da mesa móvel de amostra e mesa elevatória, que pode ser programada arbitrariamente para várias posições para realizar uma detecção automática rápida;

Design de cabeça de varredura tipo pórtico, base de mármore, adsorção a vácuo e estágio de adsorção magnética;

O motor é controlado automaticamente pelo método de inserção de agulha inteligente com detecção automática de cerâmica piezoelétrica para proteger a sonda e a amostra;

Posicionamento por microscopia óptica assistida de alta potência, observação em tempo real e posicionamento da sonda e área de varredura da amostra;

O estágio de varredura piezoelétrica em malha fechada não requer correção não linear, e a caracterização nanométrica e a precisão da medição são melhores que 99,5%.

Parâmetros do microscópio atômico da indústria de wafer

Modo de trabalho: modo de toque, modo de contato
Modo opcional: Fricção, Fase, Magnético ou Eletrostático
Curva de força: curva de força FZ, curva RMS-Z
Método de varredura XY: método de aproximação de amostra, estágio de tradução piezoeletrônica de loop fechado
Método de digitalização Z: Método de aproximação do problema
Faixa de varredura XY: loop fechado 100um × 100um
Faixa de varredura Z: 5um
Resolução de digitalização: direção XY de loop fechado 0,5 nm, direção Z 0,05 nm
Estágio de amostra XY: Motorista, movendo-se com precisão de 1um
Alcance móvel XY: 100×100mm (opcional 200×200mm, 300×300mm)
Estágio de amostra: diâmetro 100mm (opcional 200mm, 300mm)
Peso da amostra ≤ 0,5 kg
Banco elevado Z: Controle do driver do motor, passo mínimo 10nm
Faixa de curso de bancada elevada Z: 15 mm (opcional 20 mm, 25 mm)
Localização óptica: 5X len (opcional 10X/20X)
Câmera: CCD digital de 5mp
Taxa de varredura: 0,6Hz-30Hz
Ângulo de varredura: 0-360°
Sistema operacional: Windows XP/7/8/10
Interface: USB 2.0/3.0

Aplicações de microscópio atômico da indústria de wafer